UPT-VZ-21-09: Plasmatický systém

Plasmatický systém (PS) je zařízení, jenž se využívá k plasmatickému leptání organických i anorganických vrstev a materiálů, stripování vrstev rezistů, aktivaci povrchů atd. Plasmatický systém je tvořen pracovní vakuovou komorou s elektrodami, vakuovou pumpou, vakuovou měrkou, radiofrekvenčním generátorem/y, budícím/i plasmatický výboj v komoře nebo/a na RIE elektrodě, přesnými dávkovači pracovních plynů a řídící jednotkou umožňující uživatelské ovládání systému a zajištující automatický běh zvoleného plasmatického procesu.