Optický mikroskop pro inspekci waferů

Předmětem zakázky je pořízení optického mikroskopu pro inspekci waferů v oblasti nanověd a nanotechnologií. Mikroskop umožní rozsah pohybu vzorku o velikosti minimálně 6“ a zajistí dostatečné zvětšení pro určení stavu a kvality sledovaných struktur. Zařízení musí obsahovat plně funkční technologický celek zahrnující optický mikroskop s definovaným zvětšením s motorizovaným karuselem pro minimálně pět objektivů, se stolkem s automatickým posuvem v osách X, Y a Z s rozsahem posuvu minimálně 150x150 mm a rotačním držákem pro 6" a 4" wafery, digitální kamerou a SW k ovládání. Dále musí být vybaven kontrastními metodami BF, DF, DIC a POL. Podrobně je předmět veřejné zakázky vymezen technickými, obchodními a jinými smluvními podmínkami, které jsou součástí zadávací dokumentace.